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问题:纳米银粉应用: 住友电工开发液晶面板用银墨水
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时间:2005-07-03 23:15:31  编辑    加入/取消收藏    订制/取消短消息    举报该贴    

日经BP社报道】


图1:银微粒的粒径约为30nm

图2:使用这次的银墨水形成的线宽为5μm的布线。照片中的亮部就是布线部分
  住友电气工业开发出了一种能够利用简便手法形成有源矩阵型液晶面板和有机EL面板等TFT上使用的线宽不足10μm的布线、能够将布线电阻降至接近原来一半的金属材料。这次的金属材料是一种在溶液中分布了粒径约30nm银(Ag)微粒的墨水状液体(图1)。现在可供应样品,假如客户需要,随时可以量产供货。

  先利用溅射技术、旋镀技术或喷墨技术将这种材料涂布在底板上,在450℃条件下经过约30分钟的热处理后,再使用光刻技术与蚀刻技术形成布线。在住友电气工业的实验中,能够形成线宽5μm~10μm、厚0.45μm的布线,实现了3×10-6Ωcm的电阻率(体积电阻率)(图2)。而过去则是使用真空设备利用真空溅镀和蒸镀法形成铝等金属膜之后,再利用光刻技术和蚀刻技术形成布线。与过去的方法相比,不需要使用真空设备。据称,通过使用银,使得布线电阻也降低了,同时“还减轻了布线延迟问题”。与铝等布线相比,银布线容易产生电迁移问题。该公司称“PDP等电子产品需要使用银布线”、实用方面没什么问题。但同时又表示公司内部仍在继续进行可靠性试验,以便消除客户的担心。

  这种银墨水中的银微粒被一种利用热处理分解和蒸发的分散剂包裹着。将银墨水涂布到底板上以后,经过热处理这种分散剂就会分解蒸发,裸露出来的银微粒就会相互熔接。银微粒由于粒径小,在表面裸露的状态下表面具有活性,因此在低于块状银的温度下也能使银微粒相互熔接。

  住友电气工业2004年9月曾发表了由粒径为15nm的银微粒分布而成的银墨水(发布资料)。此次,与原产品相比为了在不牺牲电阻率的情况下提高与玻璃底板的粘着性,不仅改进了分散剂和溶液,还加大了银微粒的粒径。该公司对在450℃条件下对这种材料进行30分钟烧结而成的0.45μm厚薄膜进行了旨在检测其粘着性的“Tape剥离试验”,结果发现没有出现剥离现象。分散剂和溶液等详情没有公布。

  住友电气工业过去一直在开发可利用喷墨技术直接绘制布线的银墨水,并且向业界提供了工业样品。不过,由于“实现布线的直接绘制为时尚早”(住友电气工业),因此一直在直接绘制用途以外寻找能推广银墨水的用途。(记者:大久保 聪)

■日文原文 略
回复人:我的纳米技术很纳米, (我很想了解纳米科学及纳米材料生产技术!) 时间:2006-01-07 13:46:53   编辑 1楼
没有贴上图啊


回复人:h00y79, (表面活性剂,微米银粉技术了解一点点点) 时间:2006-01-11 19:30:13   编辑 2楼
又是日本的,哎


回复人:asjxcn,▲▲▲ () 时间:2005-07-03 23:16:35   编辑 3楼
呵,照片没贴上。




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